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北京科儀創(chuàng)新技術(shù)公司-氣體質(zhì)量流量控制器原理

質(zhì)量流量計(jì)是一種用于測(cè)量流體質(zhì)量的儀表，相較于傳統(tǒng)的體積流量計(jì)具有更高的精度和穩(wěn)定性。它能夠直接測(cè)得通過(guò)管道的質(zhì)量流量、密度以及溫度等參數(shù)值，不受介質(zhì)壓力變化及流動(dòng)狀態(tài)的影響。

其工作原理通?；诳剖狭υ砘驘釋?dǎo)式原理：利用振動(dòng)管在振動(dòng)過(guò)程中產(chǎn)生與質(zhì)量成正比的相位差來(lái)測(cè)定流過(guò)管道的質(zhì)量；或通過(guò)測(cè)定傳感器加熱元件因被測(cè)介貢流速不同而帶走的熱量多少來(lái)計(jì)算流量的方法來(lái)確定物質(zhì)的瞬時(shí)質(zhì)量和累計(jì)重量(總量)。該設(shè)備可廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)環(huán)境和使用場(chǎng)景中對(duì)氣體或者液體的準(zhǔn)確計(jì)量和控制過(guò)程之中去幫助實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制和提高生產(chǎn)效率的目的。

質(zhì)量流量計(jì)產(chǎn)品特點(diǎn)

產(chǎn)品特點(diǎn)，本產(chǎn)品集成觸摸顯示屏，可以通過(guò)顯示屏選擇待控制氣體的種類(lèi)、壓力控制值的大流量體積、精度等，操作方便，實(shí)時(shí)顯示當(dāng)前流量信息。本產(chǎn)品在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合是:電子工藝設(shè)備，如擴(kuò)散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀及其它分析儀器。

質(zhì)量流量計(jì)

流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量(無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償),將傳感器加熱電橋測(cè)得的流量信號(hào)送入放大器，放大后的值和通過(guò)顯示屏設(shè)置的流量值進(jìn)行比較，用比較值控制調(diào)節(jié)閥開(kāi)度，本設(shè)備從比較到控制的時(shí)間非常短，滿(mǎn)足了及時(shí)性和準(zhǔn)確性的要求。本設(shè)計(jì)對(duì)產(chǎn)品的安裝角度和位置不敏感，無(wú)需反復(fù)校準(zhǔn)調(diào)零，

本設(shè)備可以通過(guò)觸摸屏設(shè)置氣體總量，在設(shè)定流量下通過(guò)時(shí)間參數(shù)自動(dòng)計(jì)算氣體總量，當(dāng)氣體總量達(dá)到設(shè)定值時(shí)，調(diào)節(jié)閥立即關(guān)閉。

本設(shè)備可以通過(guò)觸摸屏設(shè)置氣體種類(lèi)，氣體的種類(lèi)必須和所測(cè)氣體一致，每一種氣體的各項(xiàng)性能不盡相同，選對(duì)氣體種類(lèi)是進(jìn)行流量和總量控制的前提。