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高壓柜氦檢漏設(shè)備

真空設(shè)備檢漏

設(shè)備及密封器件的微小漏隙進(jìn)行定位、定量和定性檢測的專用檢漏儀器。它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高、操作簡便，檢測迅速等特點，是在真空檢漏技術(shù)中用得普遍的檢漏儀器，

其測量工作原理如下。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理制成的磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計，用氦氣作為示漏檢測氣體制成的氣密性質(zhì)譜檢漏儀器。其結(jié)構(gòu)主要由進(jìn)樣系統(tǒng)、離子源、質(zhì)量分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計等組成。離子源是氣體電離，形成一束具有特定能量的離子。質(zhì)量分析器是一個均勻的磁場空間，不同離子的質(zhì)荷比不同，在磁場中就會按照不同軌道半徑運動而進(jìn)行分離，在設(shè)計時只讓氦離子飛出分析器的縫隙，打在收集器上。收集放大器收集氦離子流并送入到電流放大器，通過測量離子流就可知漏率。冷陰極電離真空計指示質(zhì)譜室的壓力及用作保護裝置。

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氫氣系統(tǒng)的組成

氫冷系統(tǒng)主要由氫氣匯流排（供氫系統(tǒng)）、二氧化碳匯流排（供二氧化碳系統(tǒng)）、二氧化碳蒸發(fā)器（加熱器）、氫氣控制裝置、氫氣干燥器（氫氣去濕裝置）、循環(huán)風(fēng)機、發(fā)電機絕緣過熱監(jiān)測裝置（發(fā)電機工況監(jiān)測裝置）、發(fā)電機漏液檢測裝置和發(fā)電機漏氫檢測裝置（氣體巡回檢測儀）組成 。氫氣系統(tǒng)的功能是利用干燥的氫氣對發(fā)電機轉(zhuǎn)子繞組和定子鐵芯進(jìn)行冷卻；在機組起動前或停止運行后利用中間介質(zhì)置換機內(nèi)氣體。

氮氣和氫氣的混合氣的用途

電子器件生產(chǎn)工藝中的應(yīng)用在電子器件生產(chǎn)工藝中，為減少電能消耗，降低成本，都在研發(fā)和使用各種混合氣。其間，以使用氮氫混合氣為。用液氫和液氮汽化來取得氮氧混合氣的辦法，因為選用了液化后再汽化的工藝，故其投資和成本均較高。若從大型聯(lián)合企業(yè)的副產(chǎn)物取得液氫和液氮，其成本要比電解氫和“空分”氮取得的氫氣與高出幾倍。由液氨分解取得的氮氧混合氣，因為液氮來源不同，大多數(shù)質(zhì)量較差，其間仍含有未分解的氨、水和氧等雜質(zhì)。此外，液氮多來源于化肥廠，供應(yīng)上較嚴(yán)重，故成本也較高。