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充氣柜檢漏設(shè)備

氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)

隨著科技的迅猛發(fā)展，氦質(zhì)譜檢儀及其應(yīng)用技術(shù)也在不斷發(fā)展和究善。各國的設(shè)備廠商相繼推出了多種類烈的氦質(zhì)譜檢涮儀，廣泛應(yīng)用丁航空航天，電力電子，汽車等各個(gè)行業(yè)，綜觀較新氦質(zhì)譜檢漏儀的性能特點(diǎn)發(fā)現(xiàn)，氦質(zhì)譜檢漏儀正向著高靈敏度、自動化、寬程、等先進(jìn)方向發(fā)展，這些特點(diǎn)很好地滿足了當(dāng)前檢漏應(yīng)用的需求，也極大的推動了氮質(zhì)譜檢漏技術(shù)的不斷發(fā)展。氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)氦質(zhì)譜檢漏儀一般由質(zhì)譜管，真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質(zhì)譜管包括離子源，質(zhì)量分析器和離子檢測器; 真空系統(tǒng)一般由分子泵、機(jī)械泵、電磁閥和真空計(jì)組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束，以一定能量注入質(zhì)分析器，

目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質(zhì)分析器的作用起將各類離子按其質(zhì)荷比的不同實(shí)現(xiàn)分離。

離子檢測器的作用是手機(jī)質(zhì)量分析器所選定的氦離子流并加以放大，再通過比對運(yùn)算，得出泄漏率

真空系統(tǒng)的作用是獲取質(zhì)譜過程所需的真空，同時(shí)完成被檢件的抽空和氦氣的引入。真空系統(tǒng)一般由分子泵、機(jī)械泵、電磁閥和真空計(jì)組成組成。按照真空系統(tǒng)的不同結(jié)構(gòu)，檢漏儀分為常規(guī)系統(tǒng)和逆擴(kuò)散兩種。常規(guī)系統(tǒng)多用于早期的氦質(zhì)譜檢漏儀，該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通，由被檢件泄入的氮?dú)馐紫鹊竭_(dá)質(zhì)譜管被檢到，因而具有較高的靈敏度，但是會對質(zhì)譜管有污染。逆擴(kuò)散系統(tǒng)檢漏儀與常規(guī)系統(tǒng)相比，被檢件只與低真空相通，因此只需將被檢工件抽至低真空就能進(jìn)行檢漏，氦氣是逆擴(kuò)散到質(zhì)譜管，不會對系統(tǒng)有污染，因此被廣泛采用，已成為市場的主流的產(chǎn)品。

機(jī)械泵的工作方式不一樣，分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀，油泵工作會有油霧排出，污染工作環(huán)境，干泵沒有油霧排出對工作環(huán)境沒有影響。在半導(dǎo)體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀。

檢漏儀的優(yōu)點(diǎn)

1、多種語言和計(jì)量單位選擇，可選中文界面。

2、135o 電離偏轉(zhuǎn) (自然聚焦點(diǎn))的全新質(zhì)譜技術(shù)，金屬密封結(jié)構(gòu)。

3、新的電子線路及信號處理設(shè)計(jì)。

4、小可檢漏率高、靈敏度覆蓋范圍可達(dá)12個(gè)量程。

5、快速清氦和快速響應(yīng)。

6、測試口耐壓高，可實(shí)現(xiàn)大漏檢漏。

本產(chǎn)品信息由科儀提供，如果您想了解更多您可撥打圖片上的電話進(jìn)行咨詢，科儀竭誠為您服務(wù)！

氦氣檢漏的基本功能（部分功能可選配）

1、對被檢工件充注高壓氮?dú)饣驂嚎s空氣進(jìn)行耐壓強(qiáng)度和大漏氣密性檢驗(yàn)；

2、對被檢工件抽真空；

3、對被檢工件充注氦氣；

4、真空箱法氦質(zhì)譜檢測，自動判斷工件漏率合格與不合格；

5、回收并循環(huán)使用氦氣；

6、如果氦氣浪費(fèi)嚴(yán)重，可以將使用過程中濃度不合格的氦氣進(jìn)行提純

7、PLC控制，觸摸屏操作，自動檢測。

科儀專業(yè)提供氦氣檢漏，如果您想了解更多產(chǎn)品信息您可撥打圖片上的電話進(jìn)行咨詢！