氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式
2024.01.01
氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏技術是真空檢漏領域里不可缺少的一種技術，由于檢漏效率高，簡便易操作，儀器反應靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應用。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰及電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子，在室內(nèi)來回地振蕩，并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進入室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進入磁場，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達接收及而被檢測。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中較常用的兩種方法。
當發(fā)現(xiàn)氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度降低，而檢漏儀的工作真空度狀態(tài)良好，放大器的各級工作電壓也符合標準要求，就基本上可以確定檢漏儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質(zhì)譜分析管受到了嚴重污染。
這個時候，就需要將檢漏儀的離子源分析管道拆下來進行清洗。具體的清洗方法如下：
先用較細的高標號金相砂紙小心細致地擦洗分析管道的內(nèi)表面及離子源各電及部件，這里不能用粗砂紙，因為粗砂紙容易損傷真空分析管道及離子源的各電及部件；然后用航空汽油或丙酮和無水乙醇清洗，并用去離子水沖洗干凈；較后用烘箱或電吹風進行干燥。整個清洗過程中需要注意，分析管道上的磁鐵不能撞擊、不能受熱，否則可能導致磁鐵退磁，使檢漏儀的靈敏度降低。如果操作正確，經(jīng)過清洗維護后的氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度可比清洗前提高2～3倍。
