氦檢漏儀主要性能指標試驗方法
2023.08.04
靈敏度、反應時間、清除時間、工作真空度、級限真空度及儀器入口處抽速是評價氦檢漏儀的主要性能指標。
①靈敏度及其校準
氦質譜檢漏儀靈敏度，通常指儀器的較小可檢漏率。記為qL.min，即在儀器處于較佳工作條件下，以一個大氣壓的純氦氣為示漏氣體，進行動態(tài)檢漏時所能檢測出的*小漏孔漏率。所謂“*佳工作條件”是指儀器參數(shù)調整到*佳值，被檢件出氣少且沒有大漏孔等條件。所謂“動態(tài)檢漏”是指檢漏儀器本身的抽氣系統(tǒng)仍在正常抽氣。儀器的反應時間不大于3s。所謂“*小可檢”是指檢漏訊號為儀器本底噪聲的兩倍時，才能認定有漏氣訊號輸出。所謂“漏孔漏率”是指一個大氣壓的干燥空氣通過漏孔漏向真空側的漏氣速率。儀器本底噪聲，一般指在2min內輸出儀表的波動量。
②反應時間、清除時間及其測定
反應時間是指儀器節(jié)流閥完全開啟，本底訊號為零（或補償?shù)搅悖r，由恒定的氦流量使輸儀表訊號上升到值的（1-e-1）倍（即O.63）所需要的時間，記為τR。
清除時間是指輸出儀表訊號穩(wěn)定到值后，停止送氦，其訊號下降到值的e-1倍（即O.37）所需要的時間，記為τC。
③工作真空、級限真空及入口處抽速
質譜室級限真空，尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數(shù)。利用檢漏儀的真空規(guī)可以測定儀器的級限真空和工作真空。利用流量計可測定儀器入口處抽速。
(1)便攜性:許多氦檢漏儀不僅靈敏度高，而且便于攜帶，為野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了很大的便利。
(2)高壓強下檢漏:檢漏口的壓力可高達數(shù)百帕，對于檢測大系統(tǒng)和泄漏工件非常有用。
(3)高度自動化：氦峰自動標定，零點自動調整，量程自動轉換，數(shù)據(jù)自動處理，可外接打印機。全機由微電腦控制，具有選菜功能，一鍵完成全檢漏過程。
(4)完全無油的干式檢漏:一些地方生產(chǎn)的檢漏儀可以采用干式泵，達到無油蒸汽的效果，為無油系統(tǒng)、晶片等半導體器件的檢漏提供了有利條件。
