氦質(zhì)譜檢漏儀真空檢漏的優(yōu)劣勢
2022.03.21
首先，我們需要了解為什么需要做真空檢漏？首先檢測靈敏度高，定位準(zhǔn)確；其次，能夠?qū)崿F(xiàn)較大容器或更復(fù)雜結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的泄漏檢測。 真空氨氣檢漏是氦質(zhì)譜檢漏儀的其中一種使用方法。該方法的泄漏檢測原理是將待檢部件內(nèi)部抽入真空，然后與氦質(zhì)譜儀連接，并用氦氣罩覆蓋被檢整機(jī)或部件外部。
如果檢測部位有泄漏，氮?dú)馔ㄟ^泄漏部位進(jìn)入檢測部位，通過真空管道吸入氦質(zhì)譜泄漏檢測儀來確定泄漏率。該方法可確定整體綜合泄漏率，不易發(fā)生誤檢和泄漏檢測，但存在氦氣不能回收利用，不能指導(dǎo)不合格產(chǎn)品的維護(hù)的缺點(diǎn)。如果使用氮?dú)鈬娚湟?guī)則，可以確定泄漏點(diǎn)（小區(qū)域）來指導(dǎo)維護(hù)。
氦質(zhì)譜泄漏檢測是指用氦從真空腔外吹到被檢測部位，然后通過連接到真空腔上的氦質(zhì)譜泄漏檢測器檢測侵入氦，這是目前常用的真空泄漏檢測方法。
使用真空法檢漏時(shí)，需要使用輔助真空泵或檢漏儀泵送檢驗(yàn)產(chǎn)品內(nèi)封室進(jìn)行真空泵送，并在檢驗(yàn)產(chǎn)品外表面施加氦氣。當(dāng)檢驗(yàn)產(chǎn)品表面有漏孔時(shí)，氦將通過漏孔進(jìn)入檢驗(yàn)產(chǎn)品，然后進(jìn)入氦質(zhì)譜檢驗(yàn)儀，以測量檢驗(yàn)產(chǎn)品的泄漏量。真空法可分為真空噴射法和真空氦蓋法。
燈絲發(fā)出的熱電子加速流向陽，遇到氣體分子后使氣體分子離子化。在離子向離子收集運(yùn)動的途中設(shè)置磁場，則離子受洛倫茲力按圓形軌跡運(yùn)動。離子的質(zhì)量為m，電荷為e，則圓形軌跡的半徑和質(zhì)荷比m/e有關(guān)。合理設(shè)置出口縫隙的位置，使m/e=4，即 He+能穿過縫隙，其他不同于氦質(zhì)荷比的離子因其偏轉(zhuǎn)半徑與儀器的狹縫設(shè)置不同而無法穿過出口狹縫，因此氦質(zhì)譜檢漏儀只能檢測到一價(jià)氦離子。使用氦質(zhì)譜檢漏儀，通常要求被檢測空間的真空度在10-3 Pa以下，檢測精度可達(dá)10-13 Pa·m3·s-1。
