真空箱氦檢漏及回收系統(tǒng)設計關鍵技術
2021.11.05
（1）真空箱體設計：首先、要保證箱體在抽真空過程中受力發(fā)生非彈性形變，造成箱體開裂。第二、要保證良好的氣密性，真空箱一般是焊接成型，根據真空系統(tǒng)要求，焊縫無氣孔、接痕，表面光滑， 焊后焊縫表面磨光， 后同箱體板一起拋光。這樣處理的箱體內表面光潔，表面藏氣較少。第三、真空箱門開合自如，開合過程中不剮傷箱體密封圈，為提高箱體密封圈的使用壽命，設計時盡量考慮使密封圈在垂直箱體法蘭面方向上受力，盡量避免斜向受力。
（2）真空管路設計：真空管路設計首先要考慮管道流導要與真空泵的抽速相匹配，避免大馬拉小車現(xiàn)象。
（3）檢漏系統(tǒng)設計：首先、系統(tǒng)應具備檢測大漏、中漏、微漏功能，系統(tǒng)一但出現(xiàn)大漏應立即中止檢漏并給出報警，防止出現(xiàn)大漏后，繼續(xù)執(zhí)行氦檢工藝， 造成系統(tǒng)累積大量氦氣而無法清除，也即是出現(xiàn)“氦中毒”現(xiàn)象。其次、一但出現(xiàn)大漏，應有清氦措施，的清除氦本底。
（4）氦氣充注及回收設計：首先、務必保證安全問題，因為涉及到高壓氣體，因此儲氣罐務必設置安全閥及壓力適時檢測裝置，保證壓力容器安全。第二、壓力管道務必密封良好，防止充氣及回收過程中空氣混入到系統(tǒng)中，造成氦氣純度下降。第三、需要有氦氣濃度檢測裝置，保證在氦氣壓力及純度達不到要求時，補充新鮮的氦氣。第四、具備慮油裝置，防止氦氣增壓泵以及真空泵中的油蒸汽進入氣罐，污染系統(tǒng)。
（5）抽空系統(tǒng)設計：抽空系統(tǒng)設計應本著適度、夠用、滿足需求原則。系統(tǒng)冗余過大，會導致制造成本偏高，也不離于節(jié)能環(huán)保。
