




氦質(zhì)譜檢漏儀(Helium Mass SpectrometerLeakDetector)為氣體工業(yè)名詞術(shù)語(yǔ),用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低,分子量及粘滯系數(shù)小,因而易通過(guò)漏孔并易擴(kuò)散;氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)氦質(zhì)譜檢漏儀一般由質(zhì)譜管,真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。另外,氦系惰性氣體,不腐蝕設(shè)備,故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到僅對(duì)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上,若容器有漏孔,則分析儀即有所反應(yīng),從而可知漏孔所在及漏氣量大小。
北京科儀真空技術(shù)有限公司專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀,如您想了解更多您可撥打圖片上的電話進(jìn)行咨詢!
氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理
今天科儀的小編和大家分享的是氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理,希望對(duì)您有所幫助!
氦質(zhì)譜檢漏儀是一種以氦氣作為示漏氣體專(zhuān)門(mén)用于檢漏的質(zhì)譜分析儀器。其基本工作原理是采集被檢件中的氣體樣品并將其電離,根據(jù)不同種類(lèi)氣體離子質(zhì)荷比不同的特點(diǎn),利用磁偏轉(zhuǎn)分離原理將其區(qū)分開(kāi)來(lái)。儀器對(duì)其示漏氣體氦氣有響應(yīng)信號(hào),而對(duì)其他氣體沒(méi)有響應(yīng),從而檢漏。其中正壓吸槍法采用檢漏儀吸槍對(duì)被檢產(chǎn)品外表面進(jìn)行掃描探查,可以實(shí)現(xiàn)漏孔的準(zhǔn)確定位。
氦質(zhì)譜檢測(cè)儀的標(biāo)準(zhǔn)器選擇
北京科儀真空技術(shù)有限公司專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀,今天科儀的小編就大家來(lái)分享一下氦質(zhì)譜檢漏儀的標(biāo)準(zhǔn)器的選擇,希望對(duì)大家有所幫助!
標(biāo)準(zhǔn)器 采 用 滲 氦 型 標(biāo) 準(zhǔn) 漏 孔,漏 率 標(biāo) 稱(chēng) 值 在( 10 - 6 ~ 10 - 10 ) Pa·m3 /s,不確定度不大于 10% 。
精密玻璃溫度計(jì),測(cè)量范圍(0 ~ 50) ℃ ,不確定度 U = 0. 04℃ ,k = 2。
氦質(zhì)譜檢漏儀測(cè)量數(shù)據(jù)處理
漏率的溫度修正
標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率易受溫度變化影響,溫度對(duì)標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的影響一般為3%/℃ ,所以如果實(shí)際環(huán)境溫度和標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書(shū)中溫度不一致,需要將標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書(shū)中漏率和標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的氦質(zhì)譜檢漏儀示值修正至同一環(huán)境溫度下來(lái)計(jì)算,并在測(cè)試結(jié)果中加以說(shuō)明,修正方法如下:
方法一: 將標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書(shū)中的漏率修正至實(shí)際環(huán)境溫度下,用標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書(shū)中的漏率加上或減去溫度對(duì)標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的影響系數(shù)計(jì)算值;
方法二: 將標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的氦質(zhì)譜檢漏儀示值平均值修正至標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書(shū)中環(huán)境溫度下,用標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的氦質(zhì)譜檢漏儀示值平均值加上或減去溫度對(duì)標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的影響系數(shù)計(jì)算值。