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2021-06-18
氦氣檢漏儀
氦氣檢漏儀是氦質(zhì)譜檢漏儀((Helium Mass Spectrometer Leak Detector)的俗稱，運(yùn)用質(zhì)譜原理制成的儀器稱為質(zhì)譜計(jì)或質(zhì)譜儀。真空壓力法的優(yōu)點(diǎn)是檢測靈敏度高，能實(shí)現(xiàn)任何工作壓力的漏率檢測，反映被檢件的真實(shí)泄漏狀態(tài)。質(zhì)譜儀通過其核心部件質(zhì)譜室，使不同質(zhì)量的氣體變成離子并在某種場中運(yùn)動(dòng)后，不同質(zhì)荷比的離子在場中彼此分開，而相同質(zhì)荷比的離子在場中匯聚在一起，如果在適當(dāng)位置安置接收1器接收所有這些離子，就會(huì)得到按照質(zhì)荷比大小依次分開排列的質(zhì)譜圖，這就是質(zhì)譜。
用于檢漏的質(zhì)譜儀稱為質(zhì)譜檢漏儀。測量氣體分壓力的所有質(zhì)譜計(jì)，如四極質(zhì)譜計(jì)、射頻質(zhì)譜計(jì)、飛行時(shí)間質(zhì)譜計(jì)、回旋質(zhì)譜計(jì)等都可以用于檢漏。
專門設(shè)計(jì)的以氦氣作示蹤氣體進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀稱為氦質(zhì)譜檢漏儀。這種儀器除靈敏度高外，還具有適應(yīng)范圍廣、定位定量準(zhǔn)確、無毒、安全、反應(yīng)速度快等優(yōu)點(diǎn)。氦質(zhì)譜檢漏儀中用得較多的是90°和180°的磁偏轉(zhuǎn)型質(zhì)譜儀。
眾所周知，當(dāng)一個(gè)帶電質(zhì)點(diǎn)（正離子）以速度v進(jìn)入均勻磁場的分析器中，如果速度v的方向和磁場H的方向相垂直，則它的運(yùn)動(dòng)軌跡為圓，如圖1所示。儀創(chuàng)新產(chǎn)品主要有：薄膜制備設(shè)備，真空冶金設(shè)備，檢漏設(shè)備，真空系統(tǒng)等非標(biāo)真空產(chǎn)品。當(dāng)磁場的磁通密度一定時(shí)，不同質(zhì)荷比（m/e）的離子在磁場中都有相應(yīng)的運(yùn)輸半徑，也就是都有相應(yīng)的圓軌跡，這樣，不同質(zhì)荷比的帶電粒子在磁場分析器中運(yùn)動(dòng)后就會(huì)彼此分開。如果在離大運(yùn)動(dòng)的路徑中安置一塊檔板將其他離子檔掉，而在對應(yīng)的氦離子運(yùn)動(dòng)半徑位置的檔板上開一狹縫，狹縫后安置離子接收極，這樣的只有氦離子才能通過狹縫而被接收極接收形成氦離子流，并經(jīng)放大器放大后由測量儀表指示出來。檢漏時(shí)，如果用氦氣噴吹漏孔，氦氣便通過漏孔進(jìn)入檢漏儀的質(zhì)譜室中，使檢漏儀的測量儀表立即靈敏地反應(yīng)出來，達(dá)到了檢漏的目的。
以上內(nèi)容由科儀為您提供服務(wù)，希望對同行業(yè)的朋友有所幫助。
氦質(zhì)譜檢漏常見問題
氦質(zhì)譜檢漏儀是現(xiàn)在比較常用的檢測儀器，那么在使用過程中我們又遇到哪些問題呢？今天科儀的小編就和大家來一起總結(jié)一下！
一、為什么用氦氣作為示蹤氣體？其他氣體可以嗎？（1）在空氣中含量低(只有5 ppm)，環(huán)境本底低
（2）惰性氣體不易1燃，不易1爆對環(huán)境沒有污染，不與其他物質(zhì)反應(yīng)，可以混合到任意濃度
（3）無毒，可以用在食品工業(yè)
（4）在質(zhì)譜儀譜圖中易于與其他物質(zhì)區(qū)分
（5）比空氣輕，運(yùn)動(dòng)速度快
（6）氣體分子很小，可以穿過微小的泄漏孔
（7）其它氣體也可以
二、噴氦檢漏的注意事項(xiàng)。
（1）被測系統(tǒng)應(yīng)盡量清潔，干燥，無油
（2）如果測量條件發(fā)生變化（溫度），需要重新對檢漏儀做內(nèi)部較準(zhǔn)
（3）氦氣比空氣輕，噴氦法檢漏應(yīng)注意方向
（4）盡量不要使用密封脂（油脂會(huì)大量吸附氦氣）
（5）不要向環(huán)境釋放大量氦氣
（6）真實(shí)的漏率信號(hào)應(yīng)當(dāng)是快速上升的信號(hào)，相對緩慢下降的信號(hào)
三、漏率（leak rate）
在已知漏泄處兩側(cè)壓差的情況下，單位時(shí)間內(nèi)流過漏泄處的給定溫度的干燥氣體量。
注：采用國際單位制時(shí)，漏率單位為：Pa?m3/s。
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氦質(zhì)譜檢漏儀對示漏氣體的要求及選擇
氦質(zhì)譜檢漏儀廠家的氦質(zhì)譜檢漏儀對示漏氣體的要求及選擇一般應(yīng)從以下幾方面考慮：
(1)無害，不能對人體或環(huán)境造成傷害;
(2)質(zhì)量輕，惰性氣體，穿透能力強(qiáng)，能穿透微小細(xì)縫;
(3)化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，不會(huì)引起化學(xué)反應(yīng)和易1燃易1爆;
(4)在空氣環(huán)境中含量盡可能少且組分基本恒定的氣體，滿足檢漏靈敏度方面的要求，減少本底干擾檢測的準(zhǔn)確性。
氫和氦都是比較理想的示蹤氣體，空氣中的含量少，質(zhì)量輕，運(yùn)動(dòng)速度快，分子直徑小，同等條件下，直線運(yùn)動(dòng)距離長。（3）自動(dòng)化程度高：自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰，自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn)，量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換，自動(dòng)數(shù)據(jù)處理，可外接打印機(jī)。在實(shí)際使用中，也相對比較容易獲取，可以大量使用。由于He具有無色、無臭、無活性、不可燃的特性，因此一般檢漏都采用氦氣(He)作為示漏氣體，但也有用氫氣(H)作為示漏氣體的，考慮到它的化學(xué)性質(zhì)及危險(xiǎn)性，在應(yīng)用中較少使用，所以實(shí)際大部分檢漏使用的都是氦氣。
今天科儀的小編和大家分享的是氦質(zhì)譜檢漏儀對示漏氣體的要求及選擇，如果您想了解更多您可撥打圖片上的電話進(jìn)行咨詢！
