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充氣柜真空箱測(cè)漏設(shè)備值得信賴「多圖」
2021-06-18






氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)

隨著科技的迅猛發(fā)展,氦質(zhì)譜檢儀及其應(yīng)用技術(shù)也在不斷發(fā)展和究善。耐壓測(cè)試要求:一般兩器在執(zhí)行氦檢漏之前會(huì)充注一定壓力(一般不超過(guò)3。各國(guó)的設(shè)備廠商相繼推出了多種類烈的氦質(zhì)譜檢涮儀,廣泛應(yīng)用丁航空航天,電力電子,汽車等各個(gè)行業(yè),綜觀較新氦質(zhì)譜檢漏儀的性能特點(diǎn)發(fā)現(xiàn),氦質(zhì)譜檢漏儀正向著高靈敏度、自動(dòng)化、寬程、等先進(jìn)方向發(fā)展,這些特點(diǎn)很好地滿足了當(dāng)前檢漏應(yīng)用的需求,也極大的推動(dòng)了氮質(zhì)譜檢漏技術(shù)的不斷發(fā)展。氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)氦質(zhì)譜檢漏儀一般由質(zhì)譜管,真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質(zhì)譜管包括離子源,質(zhì)量分析器和離子檢測(cè)器; 真空系統(tǒng)一般由分子泵、機(jī)械泵、電磁閥和真空計(jì)組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束,以一定能量注入質(zhì)分析器,

目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質(zhì)分析器的作用起將各類離子按其質(zhì)荷比的不同實(shí)現(xiàn)分離。

離子檢測(cè)器的作用是手機(jī)質(zhì)量分析器所選定的氦離子流并加以放大,再通過(guò)比對(duì)運(yùn)算,得出泄漏率

真空系統(tǒng)的作用是獲取質(zhì)譜過(guò)程所需的真空,同時(shí)完成被檢件的抽空和氦氣的引入。真空壓力法的優(yōu)點(diǎn)是檢測(cè)靈敏度高,能實(shí)現(xiàn)任何工作壓力的漏率檢測(cè),反映被檢件的真實(shí)泄漏狀態(tài)。真空系統(tǒng)一般由分子泵、機(jī)械泵、電磁閥和真空計(jì)組成組成。按照真空系統(tǒng)的不同結(jié)構(gòu),檢漏儀分為常規(guī)系統(tǒng)和逆擴(kuò)散兩種。常規(guī)系統(tǒng)多用于早期的氦質(zhì)譜檢漏儀,該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通,由被檢件泄入的氮?dú)馐紫鹊竭_(dá)質(zhì)譜管被檢到,因而具有較高的靈敏度,但是會(huì)對(duì)質(zhì)譜管有污染。逆擴(kuò)散系統(tǒng)檢漏儀與常規(guī)系統(tǒng)相比,被檢件只與低真空相通,因此只需將被檢工件抽至低真空就能進(jìn)行檢漏,氦氣是逆擴(kuò)散到質(zhì)譜管,不會(huì)對(duì)系統(tǒng)有污染,因此被廣泛采用,已成為市場(chǎng)的主流的產(chǎn)品。

機(jī)械泵的工作方式不一樣,分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀,油泵工作會(huì)有油霧排出,污染工作環(huán)境,干泵沒(méi)有油霧排出對(duì)工作環(huán)境沒(méi)有影響。在半導(dǎo)體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀。

以上內(nèi)容由科儀為您提供服務(wù),希望對(duì)同行業(yè)的朋友有所幫助。











檢漏儀常規(guī)的維護(hù)

適當(dāng)?shù)木S護(hù)您的檢漏儀是非常必要的,具體步驟如下:

1、探頭清潔:利用附送的防護(hù)罩防止灰塵、水汽和油脂阻塞探頭,在使用本儀器前,均要檢查探頭和防護(hù)罩確無(wú)灰塵或油脂。

2、拉下防護(hù)罩;

3、用工業(yè)毛巾或壓縮空氣清潔防護(hù)罩;

4、如果探頭本身也臟,可浸入像酒精等溫和清洗劑幾秒鐘,然后用壓縮空氣或工業(yè)毛巾清潔,嚴(yán)禁用像礦物油等溶劑,這樣易降低儀器靈敏度。

5、探頭更換:探頭終總要失效,需更換。由于探頭壽命直接和使用條件和頻次相關(guān),因此較難預(yù)計(jì)準(zhǔn)確的更換時(shí)間。當(dāng)在清潔、純凈空氣中報(bào)警或不穩(wěn)定時(shí),應(yīng)更換探頭,具體探頭步驟是如下:

(1)確認(rèn)本儀器處于關(guān)閉狀態(tài)

(2)逆時(shí)針旋下舊探頭

(3)順時(shí)針旋上包裝箱中提供的備用探頭。

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檢漏儀使用中注意事項(xiàng)

檢漏儀在使用過(guò)程中需特別注意以下幾點(diǎn):

①使用的電源電壓要在額定的電壓范圍之內(nèi),電壓過(guò)低儀器啟動(dòng)困難,且性能不穩(wěn)定,電壓過(guò)高會(huì)燒壞電源,嚴(yán)重時(shí)還會(huì)燒毀母板的電路板和分子泵,應(yīng)連接穩(wěn)壓電源(UPS)。

②儀器在運(yùn)行過(guò)程中不能移動(dòng)。渦輪分子泵處于高速運(yùn)轉(zhuǎn)中,若搬動(dòng)檢漏儀,容易使分子泵內(nèi)的葉片與轉(zhuǎn)子的筒體相碰撞。

③檢漏儀應(yīng)按照說(shuō)明書(shū)的要求定期進(jìn)行保養(yǎng),保養(yǎng)的項(xiàng)目有更換機(jī)械泵油、更換過(guò)濾網(wǎng)、更換過(guò)濾器。

本文介紹了5 種檢漏儀常見(jiàn)故障的分析與處理方法,其中儀器內(nèi)部存在泄漏環(huán)節(jié)是一個(gè)易被忽視卻又易產(chǎn)生故障的環(huán)節(jié),當(dāng)檢漏部位的復(fù)檢結(jié)果不一致時(shí),就需檢測(cè)儀器內(nèi)部是否有漏。氦質(zhì)譜檢漏儀氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù),由于檢漏效率高,簡(jiǎn)便易操作,儀器反應(yīng)靈敏,精度高,不易受其他氣體的干擾,在電阻爐檢漏中得到了廣泛應(yīng)用。檢漏儀內(nèi)部結(jié)構(gòu)緊湊,定位難度大,本文采用切斷分子泵風(fēng)扇電源和使用小流量噴槍的方式,提高了密封部位定位的能力。檢漏儀是檢漏工作的核心部件,在使用過(guò)程中應(yīng)嚴(yán)格按照說(shuō)明書(shū)的操作要求進(jìn)行使用。文中以上出現(xiàn)的故障、現(xiàn)象的處理方式是本單位在多年使用過(guò)程中的一個(gè)總結(jié)和歸納。對(duì)檢漏工作者具有一定的參考價(jià)值。

今天和大家分享的是檢漏儀使用中注意事項(xiàng),如果您想了解更多您可撥打圖片上的電話或訪問(wèn)科儀網(wǎng)址,科儀竭誠(chéng)為您服務(wù)!




氦氣檢漏的主要技術(shù)性能

1.真空箱尺寸根據(jù)電芯尺寸確定;

2.一般為三箱聯(lián)動(dòng)系統(tǒng),生產(chǎn)節(jié)拍可滿足單臺(tái)6PPM—12PPM;

3.開(kāi)門方式,可根據(jù)用戶生產(chǎn)工藝要求來(lái)設(shè)計(jì),一般為平開(kāi)門式、滑臺(tái)合箱式;

4.上下料采用機(jī)械手或機(jī)器人,正常生產(chǎn)時(shí)設(shè)備無(wú)需人工操作;

5.系統(tǒng)配置二維碼掃描裝置,可將每個(gè)電芯的檢測(cè)數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)存儲(chǔ);

6.具有清氦功能

7.具有氦氣回收功能(此功能可選)

8.自動(dòng)判斷,并對(duì)應(yīng)放置(即不合格品放于不合格線,合格品放于合格線)

9.可通過(guò)觸摸屏設(shè)置不同等級(jí)密碼,更改設(shè)備參數(shù);

10.人機(jī)交互界面,觸摸屏實(shí)時(shí)反映運(yùn)行狀態(tài)和測(cè)試數(shù)據(jù);

11.故障統(tǒng)計(jì)功能

12.系統(tǒng)采用配置和標(biāo)準(zhǔn)化設(shè)計(jì)制作,確保運(yùn)行穩(wěn)定,性能可靠。

今天和大家分享的是氦氣檢漏的性能指標(biāo),想了解更多產(chǎn)品信息您可撥打圖片上的電話進(jìn)行咨詢!