




氦質(zhì)譜檢漏儀的校準(zhǔn)方法
(1) 漏率校準(zhǔn)① 校準(zhǔn)系統(tǒng)的組成
校準(zhǔn)系統(tǒng)由標(biāo)準(zhǔn)漏孔、截止閥及需校準(zhǔn)的氦質(zhì)譜檢漏儀組成。
②示值誤差
通電預(yù)熱,待氦質(zhì)譜檢漏儀啟動(dòng)完成后,采用標(biāo)準(zhǔn)漏孔對(duì)氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行校準(zhǔn),將一經(jīng)過(guò)校準(zhǔn)的標(biāo)準(zhǔn)漏孔接入氦質(zhì)譜檢漏儀系統(tǒng),運(yùn)行氦質(zhì)譜檢漏儀,待漏率示值穩(wěn)定后,可以讀出標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的氦質(zhì)譜檢漏儀示值,同一標(biāo)準(zhǔn)漏孔測(cè)量三次,計(jì)算氦質(zhì)譜檢漏儀示值平均值,從而得到標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率與氦質(zhì)譜檢漏儀示值平均值的示值誤差。結(jié)束后,將其他量級(jí)的標(biāo)準(zhǔn)漏孔依次按此方法接入氦質(zhì)譜檢漏儀系統(tǒng)進(jìn)行測(cè)試,得到氦質(zhì)譜檢漏儀在每一量級(jí)下漏率的示值誤差。正壓法氦質(zhì)譜檢漏采用正壓法檢漏時(shí),需對(duì)被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室充入高于一個(gè)大氣壓力的氦氣,當(dāng)被檢產(chǎn)品表面有漏孔時(shí),氦氣就會(huì)通孔漏孔進(jìn)入被檢外表面的周圍大氣環(huán)境中,再采用吸槍的方式檢測(cè)被檢產(chǎn)品周圍大氣環(huán)境中的氦氣濃度增量,從而實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品泄漏測(cè)量。
如果測(cè)試結(jié)果有較大編差,可以考慮氦質(zhì)譜檢漏儀的自校功能,待完成后,再用標(biāo)準(zhǔn)漏孔進(jìn)行測(cè)試。
③ 重復(fù)性
測(cè)量重復(fù)性是用實(shí)驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)偏差表征的,本校準(zhǔn)方法采用極差法來(lái)表征重復(fù)性。在示值誤差測(cè)量中,每一標(biāo)準(zhǔn)漏孔用氦質(zhì)譜檢漏儀重復(fù)測(cè)量三次,可用公式(2)計(jì)算氦質(zhì)譜檢漏儀在該漏率下的重復(fù)性。
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氦質(zhì)譜檢漏儀能為不同的需求提供不同的測(cè)量方法
氦質(zhì)譜檢漏儀原理的氦質(zhì)譜檢漏儀特點(diǎn):
1.檢測(cè)時(shí)間和周期非常短,可以達(dá)到5s以內(nèi);
2.檢測(cè)的介質(zhì)比較常用,僅需壓縮空氣即可;
3.不會(huì)受到主觀因素判斷的影響;
4.檢測(cè)的數(shù)據(jù)精準(zhǔn);
5.自動(dòng)生成數(shù)據(jù)保存,可追溯數(shù)據(jù)來(lái)源。
氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)展的集中體現(xiàn)在如下幾個(gè)方面:
(1)便攜式:zui近各國(guó)推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高,而且便于攜帶,給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。
(2)高壓強(qiáng)下檢漏:檢漏口壓強(qiáng)可高達(dá)數(shù)百帕左右,對(duì)檢測(cè)大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。
(3)自動(dòng)化程度高:自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰,自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn),量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換,自動(dòng)數(shù)據(jù)處理,可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制,菜單的選擇功能,一個(gè)按鈕即可完成一次的全檢漏過(guò)程。
(4)全無(wú)油的干式檢漏:有些國(guó)家生產(chǎn)的檢漏儀,可采用干式泵,達(dá)到無(wú)油蒸氣的效果,為無(wú)油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,提供了有利條件。
(5)檢漏范圍寬:現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀,質(zhì)量范圍很寬,不僅可檢測(cè)氦氣,而且能檢測(cè)其它氣體。
氦質(zhì)譜檢漏儀能為不同的應(yīng)用提供廣泛的測(cè)試方法,含有渦輪分子泵、內(nèi)置機(jī)械泵、外置機(jī)械泵、光譜、儀管、閥組、檢漏儀電子元件和操作頁(yè)面,以及可選功能組件。用氦氣作為氦質(zhì)譜檢漏氣體的原因選擇示漏氣體(示蹤氣體)的原則是:它在空氣中及真空系統(tǒng)中的含量低。氦質(zhì)譜檢漏儀在許多領(lǐng)域里得到廣泛的應(yīng)用,例如,在航空航天領(lǐng)域里宇宙飛船、航天飛機(jī)、火箭、飛機(jī)等這些都要用到真空檢漏技術(shù)。

真空箱法氦質(zhì)譜檢漏的原理與系統(tǒng)特點(diǎn)
真空箱法氦質(zhì)譜檢漏的充氣回收檢漏系統(tǒng)
1.配置與氣路控制
真空箱:一般為雙工位,兩個(gè)不銹鋼真空箱,開門裝置可采用液壓方式,或加配重的手動(dòng)方式。
工件抽空系統(tǒng):低真空泵及閥門,低真空測(cè)量充氮與回收系統(tǒng):氦氣儲(chǔ)存罐(高壓罐),氦氣回收取罐(低壓罐),主壓縮機(jī),輔壓縮機(jī),過(guò)濾器以及一些高壓閥和真空閥門等。
真空箱抽氣系統(tǒng):為自動(dòng)控制型,由面板、PLC系統(tǒng)(可編程邏輯控制器),充氦回收系統(tǒng),真空箱抽氣系統(tǒng)的電路部分以及為自動(dòng)檢漏過(guò)程提供參考信號(hào)的壓力傳感器和熱偶計(jì),同時(shí),實(shí)施對(duì)整個(gè)系統(tǒng)的工作控制,對(duì)檢漏過(guò)程和結(jié)果顯示。
2.系統(tǒng)檢測(cè)過(guò)程
1)、通過(guò)v1、V4,泵系統(tǒng)對(duì)工件和真空箱抽真空,如果限定的時(shí)間內(nèi)抽到限定的真空度,此時(shí),電氣控制系統(tǒng)關(guān)閉V1,打開V2
2)、充氦系統(tǒng)通過(guò)V2對(duì)工件進(jìn)行充氦至核定的壓力,穩(wěn)定,關(guān)閉V2
3)、關(guān)閉V4,打開V3、V5,處在正常工作狀態(tài)待命的氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行檢漏,如果不漏,電氣控制系統(tǒng)指揮關(guān)斷V3、V5,打開V2對(duì)氦氣進(jìn)行回收。
4)、關(guān)閉V2打開V6對(duì)真空箱放氣,開啟真空箱更換工件。
5)、如果第三點(diǎn)檢漏儀檢測(cè)到超過(guò)設(shè)定值(漏率)的工件,檢漏儀聲光報(bào)警,將:工作內(nèi)的氦氣回收,對(duì)真空箱和管道巾的氦氣通過(guò)清潔泵抽除,免得影響檢漏儀的檢測(cè)效果和不污染檢漏儀。
6)、維持泵有一定的氦分流作用,不宜過(guò)大(不超過(guò)41),清潔泵也同樣。
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