




氦質(zhì)譜檢漏儀能為不同的需求提供不同的測(cè)量方法
氦質(zhì)譜檢漏儀原理的氦質(zhì)譜檢漏儀特點(diǎn):
1.檢測(cè)時(shí)間和周期非常短,可以達(dá)到5s以?xún)?nèi);
2.檢測(cè)的介質(zhì)比較常用,僅需壓縮空氣即可;
3.不會(huì)受到主觀因素判斷的影響;
4.檢測(cè)的數(shù)據(jù)精準(zhǔn);
5.自動(dòng)生成數(shù)據(jù)保存,可追溯數(shù)據(jù)來(lái)源。
氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)展的集中體現(xiàn)在如下幾個(gè)方面:
(1)便攜式:zui近各國(guó)推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高,而且便于攜帶,給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。
(2)高壓強(qiáng)下檢漏:檢漏口壓強(qiáng)可高達(dá)數(shù)百帕左右,對(duì)檢測(cè)大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。
(3)自動(dòng)化程度高:自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰,自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn),量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換,自動(dòng)數(shù)據(jù)處理,可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制,菜單的選擇功能,一個(gè)按鈕即可完成一次的全檢漏過(guò)程。
(4)全無(wú)油的干式檢漏:有些國(guó)家生產(chǎn)的檢漏儀,可采用干式泵,達(dá)到無(wú)油蒸氣的效果,為無(wú)油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,提供了有利條件。
(5)檢漏范圍寬:現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀,質(zhì)量范圍很寬,不僅可檢測(cè)氦氣,而且能檢測(cè)其它氣體。
氦質(zhì)譜檢漏儀能為不同的應(yīng)用提供廣泛的測(cè)試方法,含有渦輪分子泵、內(nèi)置機(jī)械泵、外置機(jī)械泵、光譜、儀管、閥組、檢漏儀電子元件和操作頁(yè)面,以及可選功能組件。(2)真空行業(yè),儀器、儀表行業(yè)管道、接頭、閥門(mén)、波紋管、各種真空泵、各類(lèi)排氣機(jī)組、電鏡、質(zhì)譜儀、電子束離子速暴光機(jī)、激光軸分離器、高能加1速器、醫(yī)用加1速器、輻照加1速器、鍍膜機(jī)、薄膜真空計(jì)。氦質(zhì)譜檢漏儀在許多領(lǐng)域里得到廣泛的應(yīng)用,例如,在航空航天領(lǐng)域里宇宙飛船、航天飛機(jī)、火箭、飛機(jī)等這些都要用到真空檢漏技術(shù)。
氦質(zhì)譜檢漏儀的原理
氦質(zhì)譜檢漏儀一般由質(zhì)譜管,真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質(zhì)譜管包括離子源,質(zhì)量分析器和離子檢測(cè)器; 真空系統(tǒng)一般由分子泵、機(jī)械泵、電磁閥和真空計(jì)組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束,以一定能量注入質(zhì)分析器,
目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質(zhì)分析器的作用起將各類(lèi)離子按其質(zhì)荷比的不同實(shí)現(xiàn)分離。
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氦質(zhì)譜檢漏用氦氣的選擇
氦氣是一種無(wú)色、無(wú)味的隋性氣體。相對(duì)分子質(zhì)量為4.003,分子直徑為2.18×10-10m,分子的質(zhì)量為3.65×10-27kg,在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的密度為0.1769kg/m3,臨界溫度為5.25K,臨界壓力為2.26×105Pa,1atm壓力下的沸點(diǎn)為4.214K,熔點(diǎn)為0.9K,三相點(diǎn)溫度為2.186K,三相點(diǎn)壓力為51.1×10-2Pa,在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的熱導(dǎo)率為510.79J/(m·h·K),在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的定壓比熱為5233J/(kg·K),在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的動(dòng)力粘度系數(shù)為1.86×10-5Pa·s,1L液氦氣化為標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氦氣體積為700L。筆者根據(jù)實(shí)測(cè)經(jīng)驗(yàn),兩次噴氦的較小間隔時(shí)間控制在30s左右,即如果第1次噴氦后30s內(nèi)檢漏儀還沒(méi)有反應(yīng),則可進(jìn)行第二次噴氦。
國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的瓶裝氦氣按純度高低分別為工業(yè)用氦、純氦、高純氦三種。
1、工業(yè)用氦:氦含量≥99%,露1點(diǎn)≤43℃.
2、純氦分三級(jí):優(yōu)等品氦含量≥99.995%;一等品氦含量≥99.993%;合格品氦含量≥99.99%。
3、高純氦分為三級(jí):優(yōu)等品氦含量≥99.9996%;一等品氦含量≥99.9993%;合格品氦含量≥99.999%。
氦氣在氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏中作為示蹤氣體使用,純度要求不高,一般選用工業(yè)用氦,即氦含量≥99%,露1點(diǎn)≤43℃。
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氦氣檢漏的主要參數(shù)及優(yōu)勢(shì)
1、關(guān)鍵零部件全球集優(yōu)采購(gòu),保證了系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性;
2、真空箱內(nèi)氦氣本底抑零,保證了檢漏的準(zhǔn)確性、;
3、特有的清氦系統(tǒng),快速有效地清除超標(biāo)的氦本底,保證檢測(cè)的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性;
4、實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)氦氣壓力和濃度,保證了工件檢測(cè)的精度;
5、可對(duì)使用過(guò)程中產(chǎn)生的濃度不合格氦氣進(jìn)行提純,極大降低氦氣損耗(功能可選);
6、可同時(shí)檢測(cè)多工件,并能按照需求自動(dòng)判斷出具體的有漏工件;
7、專(zhuān)業(yè)定制的的密封接頭,穩(wěn)定可靠,減少誤判。
8、觸摸屏實(shí)時(shí)顯示監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)和運(yùn)行參數(shù),監(jiān)控一目了然。
9、電氣控制系統(tǒng)的連鎖保護(hù)及聲光報(bào)警功能,確保了系統(tǒng)的操作安全及可靠運(yùn)行。
今天和大家分享的是氦氣檢漏的主要參數(shù)及優(yōu)勢(shì),希望對(duì)您有所幫助!