




氦質(zhì)譜檢漏常見(jiàn)問(wèn)題
氦質(zhì)譜檢漏儀是現(xiàn)在比較常用的檢測(cè)儀器,那么在使用過(guò)程中我們又遇到哪些問(wèn)題呢?今天科儀創(chuàng)新的小編就和大家來(lái)一起總結(jié)一下!
一、為什么用氦氣作為示蹤氣體?其他氣體可以嗎?(1)在空氣中含量低(只有5 ppm),環(huán)境本底低
(2)惰性氣體不易1燃,不易1爆對(duì)環(huán)境沒(méi)有污染,不與其他物質(zhì)反應(yīng),可以混合到任意濃度
(3)無(wú)毒,可以用在食品工業(yè)
(4)在質(zhì)譜儀譜圖中易于與其他物質(zhì)區(qū)分
(5)比空氣輕,運(yùn)動(dòng)速度快
(6)氣體分子很小,可以穿過(guò)微小的泄漏孔
(7)其它氣體也可以
二、噴氦檢漏的注意事項(xiàng)。
(1)被測(cè)系統(tǒng)應(yīng)盡量清潔,干燥,無(wú)油
(2)如果測(cè)量條件發(fā)生變化(溫度),需要重新對(duì)檢漏儀做內(nèi)部較準(zhǔn)
(3)氦氣比空氣輕,噴氦法檢漏應(yīng)注意方向
(4)盡量不要使用密封脂(油脂會(huì)大量吸附氦氣)
(5)不要向環(huán)境釋放大量氦氣
(6)真實(shí)的漏率信號(hào)應(yīng)當(dāng)是快速上升的信號(hào),相對(duì)緩慢下降的信號(hào)
三、漏率(leak rate)
在已知漏泄處兩側(cè)壓差的情況下,單位時(shí)間內(nèi)流過(guò)漏泄處的給定溫度的干燥氣體量。
注:采用國(guó)際單位制時(shí),漏率單位為:Pa?m3/s。
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氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式有那些
氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種,一種為常規(guī)檢漏,另一種為逆擴(kuò)散檢漏。
逆擴(kuò)散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端,漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進(jìn)入安裝在泵的進(jìn)氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測(cè)。這一檢漏方式是基于分子泵對(duì)不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比(氣體在分子泵出氣口壓強(qiáng)與進(jìn)氣口壓強(qiáng)之比)即利用不同氣體的逆擴(kuò)散程度不同程度而設(shè)計(jì)的。氦質(zhì)譜檢測(cè)儀的標(biāo)準(zhǔn)器選擇北京科儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限公司專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀,今天科儀創(chuàng)新的小編就大家來(lái)分享一下氦質(zhì)譜檢漏儀的標(biāo)準(zhǔn)器的選擇,希望對(duì)大家有所幫助。
氦質(zhì)譜檢漏儀逆擴(kuò)散原理
逆擴(kuò)散方式檢漏允許被檢件內(nèi)壓強(qiáng)較高,氦質(zhì)譜檢漏儀可達(dá)1000Pa(一般常規(guī)檢漏儀為0.05Pa以下),適合檢大型容器或有大漏的器件,也適合吸槍檢漏。逆擴(kuò)散方式還具有質(zhì)譜管不易受污染,燈絲壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)。
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用氦氣作為氦質(zhì)譜檢漏氣體的原因
選擇示漏氣體(示蹤氣體)的原則是:它在空氣中及真空系統(tǒng)中的含量低;檢漏儀對(duì)示漏氣體的靈敏度高;它不會(huì)對(duì)人員、環(huán)境、被檢件及檢漏儀造成污染、傷害和安全隱患;價(jià)格低。
質(zhì)譜檢漏儀通常選擇氦氣作示蹤氣體,主要原因如下:
1、氦在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量極1少(在空氣中約含5.2ppm),在材料出氣中也很少,因此本底壓力小,輸出的本底電流也小。正因?yàn)楸镜仔?,由某些原因引起本底的波?dòng),亦即本底噪聲也就小,因此微小漏率也就能反應(yīng)出來(lái),靈敏度高。
2、氦的質(zhì)量小(相對(duì)分子質(zhì)量為4),易于穿過(guò)漏孔。這樣,氦較除氫以外的其他氣體通過(guò)同一漏孔的漏率就大,容易發(fā)現(xiàn),靈敏度高。
3、氦是惰性氣體,不與被檢件器壁起化學(xué)反應(yīng),不會(huì)污染被檢件,使用安全。
4、在氦兩側(cè)的是氫(質(zhì)荷比為2)和雙電荷原子碳(質(zhì)荷比為6),質(zhì)荷比都與氦相差較大。這樣,它們?cè)诜治銎髦械钠D(zhuǎn)半徑相差也大,容易分開(kāi),定標(biāo)找氦峰時(shí),不易受其他離子的干擾,因此就降低了對(duì)分析器制造精度的要求,易于加工。氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式有那些氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種,一種為常規(guī)檢漏,另一種為逆擴(kuò)散檢漏。同時(shí),分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大,使更多的氦離子通過(guò),提高了儀器靈敏度。
5、氦在被檢件及真空系統(tǒng)中不易被吸附。這樣檢出一個(gè)漏孔可以使氦信號(hào)迅速消失以便繼續(xù)進(jìn)行檢漏,提高了儀器的檢漏效率。
6.氫氣有些性能(如質(zhì)量小、易通過(guò)漏孔)比氦還好,然而由于氫一方面有易1爆危險(xiǎn),另一方面在油擴(kuò)散泵中,由于油受熱裂解會(huì)產(chǎn)生大量的碳和氫,使氫本底極高且波動(dòng)大,以致靈敏度大大降低,所以很少采用。
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