




氦氣檢漏儀的工作原理是什么?
主要有離子源、分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計組成,離子源是氣體電離,形成一束具有特定能量的離子,分析器是一個均勻的磁場空間,不同離子的質荷比不同;根據(jù)檢漏過程中的示漏氣體存貯位置與被檢件的關系不同,可以將氦質譜檢漏法分為真空法、正壓法、真空壓力法和背壓法,下面分別總結了這四種氦質譜檢漏法的檢測原理、優(yōu)缺點及檢測的標準。在磁場中就會按照不同軌道半徑運動而進行分離,再設計時只讓氦離子飛出分析器的縫隙;打在收集器上,收集放大器收集氦離子流并出入到電流放大器,通過測量離子流就可知漏率。
氦質譜檢漏儀的原理
氦質譜檢漏儀一般由質譜管,真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質譜管包括離子源,質量分析器和離子檢測器; 真空系統(tǒng)一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束,以一定能量注入質分析器,
目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質分析器的作用起將各類離子按其質荷比的不同實現(xiàn)分離。
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氦氣檢漏的主要技術性能
1.真空箱尺寸根據(jù)電芯尺寸確定;
2.一般為三箱聯(lián)動系統(tǒng),生產節(jié)拍可滿足單臺6PPM—12PPM;
3.開門方式,可根據(jù)用戶生產工藝要求來設計,一般為平開門式、滑臺合箱式;
4.上下料采用機械手或機器人,正常生產時設備無需人工操作;
5.系統(tǒng)配置二維碼掃描裝置,可將每個電芯的檢測數(shù)據(jù)對應存儲;
6.具有清氦功能
7.具有氦氣回收功能(此功能可選)
8.自動判斷,并對應放置(即不合格品放于不合格線,合格品放于合格線)
9.可通過觸摸屏設置不同等級密碼,更改設備參數(shù);
10.人機交互界面,觸摸屏實時反映運行狀態(tài)和測試數(shù)據(jù);
11.故障統(tǒng)計功能
12.系統(tǒng)采用配置和標準化設計制作,確保運行穩(wěn)定,性能可靠。
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