




氦質(zhì)譜檢漏原理
氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是以無色、無味的惰性氣體氦氣為示蹤介質(zhì)、以磁質(zhì)譜分析儀為檢測(cè)儀器,用于檢漏的一種檢測(cè)技術(shù),它的檢漏靈敏度可達(dá)10-14~10-15Pa?m3/s,可以準(zhǔn)確確定漏孔位置和漏率。氦質(zhì)譜檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)組件和電子學(xué)控制元件三大部分組成。質(zhì)譜室接在分子泵的高真空端,入口接在分子泵和機(jī)械泵之間,利用分子泵對(duì)不同氣體具有不同壓縮比的特點(diǎn),氦氣逆著分子泵的抽氣方向進(jìn)入質(zhì)譜室。檢漏儀在質(zhì)譜室中將氣體電離,這些離子在加速電場(chǎng)的作用下進(jìn)入磁場(chǎng),在洛倫茲力作用下發(fā)生偏轉(zhuǎn),由于不同荷質(zhì)比的離子具有不同的電磁學(xué)特性,偏轉(zhuǎn)半徑各不相同,在擋板的作用下,氦檢漏儀的收集板只允許帶正電的氦離子被接收到,單位時(shí)間到達(dá)收集板的氦離子對(duì)應(yīng)于一個(gè)電流信號(hào),這個(gè)電流信號(hào)正比于進(jìn)入到達(dá)收集板氦離子的數(shù)量,電流信號(hào)經(jīng)過放大后顯示在質(zhì)譜儀的顯示面板上,其大小反映了泄漏點(diǎn)的漏率,通過泄漏率大小來確定該位置泄漏程度的大小。耐壓測(cè)試要求:一般兩器在執(zhí)行氦檢漏之前會(huì)充注一定壓力(一般不超過3。
氦質(zhì)譜檢漏儀的示蹤氣體選用氦氣,是因?yàn)楹饩哂幸韵聝?yōu)良特性:
①氦氣在空氣中的含量少,體積含量為5.24×10-6,如果氦氣在環(huán)境中的含量超過標(biāo)準(zhǔn),可以比較容易地探測(cè)到極微量的氦氣;
②氦分子小、質(zhì)量輕、易擴(kuò)散、易穿越漏孔、易于檢測(cè)也易于清除;
③氦離子荷質(zhì)比小,易于進(jìn)行質(zhì)譜分析;
④氦氣是惰性氣體,化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定,不會(huì)腐蝕和損傷任何設(shè)備;
⑤氦氣無毒,不凝結(jié),極難容于水。
今天科儀創(chuàng)新小編和大家分享的是氦質(zhì)譜檢漏的工作原理,希望對(duì)您有所幫助!
檢漏儀的優(yōu)點(diǎn)
1、多種語言和計(jì)量單位選擇,可選中文界面。
2、135o 電離偏轉(zhuǎn) (自然聚焦點(diǎn))的全新質(zhì)譜技術(shù),金屬密封結(jié)構(gòu)。
3、新的電子線路及信號(hào)處理設(shè)計(jì)。
4、小可檢漏率高、靈敏度覆蓋范圍可達(dá)12個(gè)量程。
5、快速清氦和快速響應(yīng)。
6、測(cè)試口耐壓高,可實(shí)現(xiàn)大漏檢漏。
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檢漏儀使用中注意事項(xiàng)
檢漏儀在使用過程中需特別注意以下幾點(diǎn):
①使用的電源電壓要在額定的電壓范圍之內(nèi),電壓過低儀器啟動(dòng)困難,且性能不穩(wěn)定,電壓過高會(huì)燒壞電源,嚴(yán)重時(shí)還會(huì)燒毀母板的電路板和分子泵,應(yīng)連接穩(wěn)壓電源(UPS)。
②儀器在運(yùn)行過程中不能移動(dòng)。渦輪分子泵處于高速運(yùn)轉(zhuǎn)中,若搬動(dòng)檢漏儀,容易使分子泵內(nèi)的葉片與轉(zhuǎn)子的筒體相碰撞。
③檢漏儀應(yīng)按照說明書的要求定期進(jìn)行保養(yǎng),保養(yǎng)的項(xiàng)目有更換機(jī)械泵油、更換過濾網(wǎng)、更換過濾器。
本文介紹了5 種檢漏儀常見故障的分析與處理方法,其中儀器內(nèi)部存在泄漏環(huán)節(jié)是一個(gè)易被忽視卻又易產(chǎn)生故障的環(huán)節(jié),當(dāng)檢漏部位的復(fù)檢結(jié)果不一致時(shí),就需檢測(cè)儀器內(nèi)部是否有漏。檢漏儀內(nèi)部結(jié)構(gòu)緊湊,定位難度大,本文采用切斷分子泵風(fēng)扇電源和使用小流量噴槍的方式,提高了密封部位定位的能力。檢漏儀是檢漏工作的核心部件,在使用過程中應(yīng)嚴(yán)格按照說明書的操作要求進(jìn)行使用。文中以上出現(xiàn)的故障、現(xiàn)象的處理方式是本單位在多年使用過程中的一個(gè)總結(jié)和歸納。氦質(zhì)譜檢漏儀的注意事項(xiàng)檢漏儀的響應(yīng)時(shí)間會(huì)影響檢漏工作的速度,正常運(yùn)行的儀器響應(yīng)時(shí)間不大于3s。對(duì)檢漏工作者具有一定的參考價(jià)值。
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