




氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理
今天科儀創(chuàng)新的小編和大家分享的是氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理,希望對(duì)您有所幫助!
氦質(zhì)譜檢漏儀是一種以氦氣作為示漏氣體專(zhuān)門(mén)用于檢漏的質(zhì)譜分析儀器。氫氣有些性能(如質(zhì)量小、易通過(guò)漏孔)比氦還好,然而由于氫一方面有易1爆危險(xiǎn),另一方面在油擴(kuò)散泵中,由于油受熱裂解會(huì)產(chǎn)生大量的碳和氫,使氫本底極高且波動(dòng)大,以致靈敏度大大降低,所以很少采用。其基本工作原理是采集被檢件中的氣體樣品并將其電離,根據(jù)不同種類(lèi)氣體離子質(zhì)荷比不同的特點(diǎn),利用磁偏轉(zhuǎn)分離原理將其區(qū)分開(kāi)來(lái)。儀器對(duì)其示漏氣體氦氣有響應(yīng)信號(hào),而對(duì)其他氣體沒(méi)有響應(yīng),從而檢漏。
氦質(zhì)譜檢漏儀
北京科儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限公司是國(guó)內(nèi)新興的一家專(zhuān)業(yè)從事真空領(lǐng)域的高新技術(shù)企業(yè)。
氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù),由于檢漏,簡(jiǎn)便易操作,儀器反應(yīng)靈敏,精度高,不易受其他氣體的干擾,在電阻爐檢漏中得到了廣泛應(yīng)用。3、氦是惰性氣體,不與被檢件器壁起化學(xué)反應(yīng),不會(huì)污染被檢件,使用安全。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。
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氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)和工作原理
氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì),其基本原理是根據(jù)離子在磁場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)時(shí),不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來(lái)實(shí)現(xiàn)不同種類(lèi)離子的分離。氣密性要求:對(duì)于兩器產(chǎn)品,充注一定壓力R134a制冷劑,泄露量小于2克/年。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時(shí)先打開(kāi)抽空閥前級(jí)泵對(duì)檢漏接口抽真空,當(dāng)真空度P1 優(yōu)于200 Pa 時(shí),打開(kāi)入口閥1、2,關(guān)閉抽空閥,氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進(jìn)入質(zhì)譜室中被檢測(cè)出來(lái),此時(shí)檢漏儀的較小可檢漏率為10- 10 Pa·m3/s。前級(jí)泵繼續(xù)對(duì)檢漏接口抽真空,當(dāng)P1降至20 Pa 時(shí),入口閥2 關(guān)閉,入口閥3 打開(kāi),分子泵的高抽速用于抽空試件,檢漏儀的反應(yīng)時(shí)間縮短,此時(shí)檢漏儀的較小可檢漏率為10- 12 Pa·m3/s。
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氦氣檢漏的主要參數(shù)及優(yōu)勢(shì)
1、關(guān)鍵零部件全球集優(yōu)采購(gòu),保證了系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性;
2、真空箱內(nèi)氦氣本底抑零,保證了檢漏的準(zhǔn)確性、;
3、特有的清氦系統(tǒng),快速有效地清除超標(biāo)的氦本底,保證檢測(cè)的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性;
4、實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)氦氣壓力和濃度,保證了工件檢測(cè)的精度;
5、可對(duì)使用過(guò)程中產(chǎn)生的濃度不合格氦氣進(jìn)行提純,極大降低氦氣損耗(功能可選);
6、可同時(shí)檢測(cè)多工件,并能按照需求自動(dòng)判斷出具體的有漏工件;
7、專(zhuān)業(yè)定制的的密封接頭,穩(wěn)定可靠,減少誤判。
8、觸摸屏實(shí)時(shí)顯示監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)和運(yùn)行參數(shù),監(jiān)控一目了然。
9、電氣控制系統(tǒng)的連鎖保護(hù)及聲光報(bào)警功能,確保了系統(tǒng)的操作安全及可靠運(yùn)行。
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