




氦氣檢漏儀的工作原理是什么?
主要有離子源、分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計組成,離子源是氣體電離,形成一束具有特定能量的離子,分析器是一個均勻的磁場空間,不同離子的質荷比不同;離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束,以一定能量注入質分析器,目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。在磁場中就會按照不同軌道半徑運動而進行分離,再設計時只讓氦離子飛出分析器的縫隙;打在收集器上,收集放大器收集氦離子流并出入到電流放大器,通過測量離子流就可知漏率。
氦質譜檢漏儀能為不同的需求提供不同的測量方法
氦質譜檢漏儀原理的氦質譜檢漏儀特點:
1.檢測時間和周期非常短,可以達到5s以內;
2.檢測的介質比較常用,僅需壓縮空氣即可;
3.不會受到主觀因素判斷的影響;
4.檢測的數(shù)據(jù)精準;
5.自動生成數(shù)據(jù)保存,可追溯數(shù)據(jù)來源。
氦質譜檢漏儀進展的集中體現(xiàn)在如下幾個方面:
(1)便攜式:zui近各國推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高,而且便于攜帶,給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。
(2)高壓強下檢漏:檢漏口壓強可高達數(shù)百帕左右,對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。
(3)自動化程度高:自動校準氦峰,自動調節(jié)零點,量程自動轉換,自動數(shù)據(jù)處理,可外接打印機。整機由微機控制,菜單的選擇功能,一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。
(4)全無油的干式檢漏:有些國家生產的檢漏儀,可采用干式泵,達到無油蒸氣的效果,為無油系統(tǒng)及芯片等半導體器件的檢漏,提供了有利條件。
(5)檢漏范圍寬:現(xiàn)今生產的四極檢漏儀,質量范圍很寬,不僅可檢測氦氣,而且能檢測其它氣體。
氦質譜檢漏儀能為不同的應用提供廣泛的測試方法,含有渦輪分子泵、內置機械泵、外置機械泵、光譜、儀管、閥組、檢漏儀電子元件和操作頁面,以及可選功能組件。24×10-6,如果氦氣在環(huán)境中的含量超過標準,可以比較容易地探測到極微量的氦氣。氦質譜檢漏儀在許多領域里得到廣泛的應用,例如,在航空航天領域里宇宙飛船、航天飛機、火箭、飛機等這些都要用到真空檢漏技術。
氦質譜檢漏儀故障與處理
(1)內部的密封結構
當檢漏儀內部存在泄漏時,會對檢漏工作造成較大干擾,容易造成誤檢、誤判。 檢漏儀內部主要的密封部位在檢漏儀的后側(見圖2),位于隔熱板的上方:①檢漏儀測試口與閥門組塊的連接部位,密封方式采用膠灌密封,檢漏儀在運輸過程中如遇到強烈震動,此處容易造成密封膠開裂。②各電磁閥與閥門組件間的連接部位。氦質譜檢漏儀對示漏氣體的要求及選擇氦質譜檢漏儀廠家的氦質譜檢漏儀對示漏氣體的要求及選擇一般應從以下幾方面考慮:(1)無害,不能對人體或環(huán)境造成傷害。密封方式采用氟橡膠圈或金屬墊片密封,橡膠圈的密封壽命有限,使用5 年以上時,有可能會存在密封失效的問題。③各零部件接口處的密封部位。如放大器與質譜室、離子源與質譜室、分子泵與質譜室、標準漏孔與閥門組件、真空計與閥門組件等接口間的金屬墊片密封或橡膠圈密封。
(2)定位方法
采用噴吹法對各密封部位的氣密性進行檢測,因檢漏儀內部結構緊湊,各密封結構間的距離很近,檢測時定位難度較大。經摸索,在檢測時采用以下技巧,可提高定位的能力:①查漏前,先將分子泵風扇的電源斷開,避免風扇將氦源吹散至各個密封環(huán)節(jié),造成定位不準確。今天和大家分享的是氦質譜檢漏儀的校準方法,如您想了解更多的產品信息,您可撥打圖片上的電話進行咨詢。②噴吹時,要嚴格控制氦源的流量,盡量采用噴槍咀流量小的噴槍,提高定位的能力。③儀器的反應時間小于1 s,所以在一個部位噴吹的時間約3 s,再等待約3 s 后觀測信號有無變化。
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氦質譜檢漏儀的校準方法
氦質譜檢漏儀廣泛應用于制冷行業(yè)、核工業(yè)、電子行業(yè)、真空行業(yè)、電力行業(yè)、航空航天等行業(yè)。根據(jù)其工作原理和技術性能指標,通過實驗,總結通過氦質譜檢漏儀對其漏率校準的方法。
氦質譜檢漏儀原理:
氦質譜檢漏儀是一種以氦氣作為示漏氣體專門用于檢漏的質譜分析儀器。其基本工作原理是采集被檢件中的氣體樣品并將其電離,根據(jù)不
氦質譜檢漏儀主要由質譜室、真空系統(tǒng)和電氣部分等組成。
氦質譜檢漏儀的內部一般有標準漏孔,可將標準漏孔拆卸進行校準,如果不能單獨校準標準漏孔,就可考慮直接通過氦質譜檢漏儀進行漏率部分的校準,本文主要討論這種情況下氦漏率的校準方法。
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