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燃料電池冷卻水套真空箱氦測漏系統(tǒng)來電咨詢,科儀創(chuàng)新真空公司
2021-06-18






氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)

隨著科技的迅猛發(fā)展,氦質(zhì)譜檢儀及其應用技術也在不斷發(fā)展和究善。各國的設備廠商相繼推出了多種類烈的氦質(zhì)譜檢涮儀,廣泛應用丁航空航天,電力電子,汽車等各個行業(yè),綜觀較新氦質(zhì)譜檢漏儀的性能特點發(fā)現(xiàn),氦質(zhì)譜檢漏儀正向著高靈敏度、自動化、寬程、等先進方向發(fā)展,這些特點很好地滿足了當前檢漏應用的需求,也極大的推動了氮質(zhì)譜檢漏技術的不斷發(fā)展。用氦氣作為氦質(zhì)譜檢漏氣體的原因選擇示漏氣體(示蹤氣體)的原則是:它在空氣中及真空系統(tǒng)中的含量低。氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)氦質(zhì)譜檢漏儀一般由質(zhì)譜管,真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質(zhì)譜管包括離子源,質(zhì)量分析器和離子檢測器; 真空系統(tǒng)一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束,以一定能量注入質(zhì)分析器,

目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質(zhì)分析器的作用起將各類離子按其質(zhì)荷比的不同實現(xiàn)分離。

離子檢測器的作用是手機質(zhì)量分析器所選定的氦離子流并加以放大,再通過比對運算,得出泄漏率

真空系統(tǒng)的作用是獲取質(zhì)譜過程所需的真空,同時完成被檢件的抽空和氦氣的引入。真空系統(tǒng)一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成組成。光無源器件對密封性的要求極高,如果存在泄漏會影響其使用性能和精度,光通信行業(yè)的漏率標準是小于5×10-8mbar。按照真空系統(tǒng)的不同結(jié)構(gòu),檢漏儀分為常規(guī)系統(tǒng)和逆擴散兩種。常規(guī)系統(tǒng)多用于早期的氦質(zhì)譜檢漏儀,該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通,由被檢件泄入的氮氣首先到達質(zhì)譜管被檢到,因而具有較高的靈敏度,但是會對質(zhì)譜管有污染。逆擴散系統(tǒng)檢漏儀與常規(guī)系統(tǒng)相比,被檢件只與低真空相通,因此只需將被檢工件抽至低真空就能進行檢漏,氦氣是逆擴散到質(zhì)譜管,不會對系統(tǒng)有污染,因此被廣泛采用,已成為市場的主流的產(chǎn)品。

機械泵的工作方式不一樣,分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀,油泵工作會有油霧排出,污染工作環(huán)境,干泵沒有油霧排出對工作環(huán)境沒有影響。在半導體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀。

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氦質(zhì)譜檢漏儀的應用拓展二

電力行業(yè)

SF6高壓開關和氧化鋅避雷器是發(fā)電廠及野外輸變電的重要組成部分,往往因泄漏造成大面積或局部停電,影響工業(yè)生產(chǎn),又妨礙人們的正常生活。因此帶來的經(jīng)濟損失有時是難以估量的。

1)高壓開關在連箱是鋁鑄件,往往容易有砂眼,且漏孔結(jié)構(gòu)復雜,不易清洗。一般采用檢漏盒或氦罩法,即把被檢件抽真空,然后向罩內(nèi)充入氦氣,等待一定時間,確定總漏率的大小。因氦氣的用量小,檢測靈敏度就高。

2)氧化鋅避雷器,是根據(jù)電壓高低要求,采用不同截面積、不同厚度和不同數(shù)量的氧化鋅片,裝在瓷套中,充入氮氣后密封。檢漏時,如果用氦氣噴吹漏孔,氦氣便通過漏孔進入檢漏儀的質(zhì)譜室中,使檢漏儀的測量儀表立即靈敏地反應出來,達到了檢漏的目的。其工作原理是在高壓輸出中如遇雷擊,氧化鋅片電阻變小,大電流對地短路,輸電線路被保護。如果泄漏造成內(nèi)外沒有壓差,外部潮濕氣體有可能進入,而破壞氧化鋅片特性,造成爆1炸。

3)電力行業(yè)中,電廠的檢漏、高壓變壓器、高壓電容器、高壓開關管及其它元器件也都相應的采用氦質(zhì)譜檢譜檢漏儀,用不同方法進行檢漏。

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檢漏儀使用中注意事項

檢漏儀在使用過程中需特別注意以下幾點:

①使用的電源電壓要在額定的電壓范圍之內(nèi),電壓過低儀器啟動困難,且性能不穩(wěn)定,電壓過高會燒壞電源,嚴重時還會燒毀母板的電路板和分子泵,應連接穩(wěn)壓電源(UPS)。

②儀器在運行過程中不能移動。渦輪分子泵處于高速運轉(zhuǎn)中,若搬動檢漏儀,容易使分子泵內(nèi)的葉片與轉(zhuǎn)子的筒體相碰撞。

③檢漏儀應按照說明書的要求定期進行保養(yǎng),保養(yǎng)的項目有更換機械泵油、更換過濾網(wǎng)、更換過濾器。

本文介紹了5 種檢漏儀常見故障的分析與處理方法,其中儀器內(nèi)部存在泄漏環(huán)節(jié)是一個易被忽視卻又易產(chǎn)生故障的環(huán)節(jié),當檢漏部位的復檢結(jié)果不一致時,就需檢測儀器內(nèi)部是否有漏。檢漏儀內(nèi)部結(jié)構(gòu)緊湊,定位難度大,本文采用切斷分子泵風扇電源和使用小流量噴槍的方式,提高了密封部位定位的能力。氦質(zhì)譜檢漏儀的注意事項檢漏儀的響應時間會影響檢漏工作的速度,正常運行的儀器響應時間不大于3s。檢漏儀是檢漏工作的核心部件,在使用過程中應嚴格按照說明書的操作要求進行使用。文中以上出現(xiàn)的故障、現(xiàn)象的處理方式是本單位在多年使用過程中的一個總結(jié)和歸納。對檢漏工作者具有一定的參考價值。

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