




氦質譜檢漏儀的主要配置
科儀創(chuàng)新產品主要有:薄膜制備設備,真空冶金設備,檢漏設備,真空系統(tǒng)等非標真空產品;系列分子泵,離子泵,鈦升華泵,深冷捕集泵等高真空獲得設備;系列干式渦旋泵,干式爪泵,干式螺桿泵等無油真空獲得設備;超高真空環(huán)境模擬設備等高新技術產品。然后取出被檢產品,將表面的殘余氦氣吹除后再將被檢產品放入與檢漏儀相連的真空容器內,被檢產品內部密封腔內的氦氣會通過漏孔泄漏到真空容器,再進入氦質譜檢漏儀,從而實現被檢產品總漏率測量。今天科儀創(chuàng)新的小編就和大家分享一下氦質譜檢漏儀的主要配置有哪些,希望對您有所幫助!
1. 檢漏儀專用分子泵
2. 機械泵或者干泵
3. 定制檢漏儀專用電磁閥
4. 內置標準漏口
5. 放大器
6. 采用質譜專用模塊
以上是科儀創(chuàng)新為您一起分享的內容,科儀創(chuàng)新專業(yè)生產氦檢漏,歡迎新老客戶蒞臨。
氦質譜檢漏儀常用檢漏方法及標準
氦質譜檢漏法是利用氦質譜檢漏儀的氦分壓力測量原理,實現被檢件的氦泄漏量測量。筆者測算,在測試到數量級為10-9Pa?m3/s的微漏漏點時,清除時間約須1分鐘。當被檢件密封面上存在漏孔時,示漏氣體氦氣及其它成分的氣體均會從漏孔泄出,泄漏出來的氣體進入氦質譜檢漏儀后,由于氦質譜檢漏儀的選擇性識別能力,僅給出氣體中的氦氣分壓力信號值。在獲得氦氣信號值的基礎上,通過標準漏孔比對的方法就可以獲得漏孔對氦泄漏量。
根據檢漏過程中的示漏氣體存貯位置與被檢件的關系不同,可以將氦質譜檢漏法分為真空法、正壓法、真空壓力法和背壓法,下面分別總結了這四種氦質譜檢漏法的檢測原理、優(yōu)缺點及檢測的標準。
真空法氦質譜檢漏
采用真空法檢漏時,需要利用輔助真空泵或檢漏儀對被檢產品內部密封室抽真空,采用氦罩或噴吹的方法在被檢產品外表面施氦氣,當被檢產品表面有漏孔時,氦氣就會通過漏孔進入被檢產品內部,再進入氦質譜檢漏儀,從而實現被檢產品泄漏量測量。氦質譜檢漏法利用氦氣作為示蹤氣體可準確定位,定量漏點,替代傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏,目前已廣泛應用于光無源器件的檢漏。按照施漏氣體方法的不同,又可以將真空法分為真空噴吹法和真空氦罩法。其中真空噴吹法采用噴槍的方式向被檢產品外表面噴吹氦氣,可以實現漏孔的準確定位; 真空氦罩法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產品全部罩起來,在罩內充滿一定濃度的氦氣,可以實現被檢產品總漏率的測量。
氦氣檢漏的基本功能(部分功能可選配)
1、對被檢工件充注高壓氮氣或壓縮空氣進行耐壓強度和大漏氣密性檢驗;
2、對被檢工件抽真空;
3、對被檢工件充注氦氣;
4、真空箱法氦質譜檢測,自動判斷工件漏率合格與不合格;
5、回收并循環(huán)使用氦氣;
6、如果氦氣浪費嚴重,可以將使用過程中濃度不合格的氦氣進行提純
7、PLC控制,觸摸屏操作,自動檢測。
科儀創(chuàng)新專業(yè)提供氦氣檢漏,如果您想了解更多產品信息您可撥打圖片上的電話進行咨詢!