真空箱氦測漏系統(tǒng)的用途和特點【科儀創(chuàng)新真空】
2021-06-18
氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領域里不可缺少的一種技術(shù)，由于檢漏，簡便易操作，儀器反應靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應用。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子，在室內(nèi)來回地振蕩，并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進人磁場，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。在獲得氦氣信號值的基礎上，通過標準漏孔比對的方法就可以獲得漏孔對氦泄漏量。
今天和大家分享的是氦質(zhì)譜檢漏儀的操作方法，希望對大家有所幫助！
氦質(zhì)譜檢漏儀的應用拓展一
例如火箭發(fā)動機及姿態(tài)發(fā)動機，過去是打壓刷肥皂水檢漏，現(xiàn)在重新改進工藝用氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏，采用正壓吸槍與氦罩法結(jié)合，使檢漏靈敏度大大提高，從而保證了發(fā)動機質(zhì)量?；鸺w的檢漏采用正壓吸槍、氦罩法、累集法等幾種方法的結(jié)合。由于檢漏技術(shù)的應用，提高了檢漏靈敏度，彌補了吸入法檢漏時儀器靈敏度低的不足。機械泵的工作方式不一樣，分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀，油泵工作會有油霧排出，污染工作環(huán)境，干泵沒有油霧排出對工作環(huán)境沒有影響。
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氦質(zhì)譜檢漏儀的校準方法
(1) 漏率校準① 校準系統(tǒng)的組成
校準系統(tǒng)由標準漏孔、截止閥及需校準的氦質(zhì)譜檢漏儀組成。
②示值誤差
通電預熱，待氦質(zhì)譜檢漏儀啟動完成后，采用標準漏孔對氦質(zhì)譜檢漏儀進行校準，將一經(jīng)過校準的標準漏孔接入氦質(zhì)譜檢漏儀系統(tǒng)，運行氦質(zhì)譜檢漏儀，待漏率示值穩(wěn)定后，可以讀出標準漏孔漏率的氦質(zhì)譜檢漏儀示值，同一標準漏孔測量三次，計算氦質(zhì)譜檢漏儀示值平均值，從而得到標準漏孔漏率與氦質(zhì)譜檢漏儀示值平均值的示值誤差。結(jié)束后，將其他量級的標準漏孔依次按此方法接入氦質(zhì)譜檢漏儀系統(tǒng)進行測試，得到氦質(zhì)譜檢漏儀在每一量級下漏率的示值誤差。2）氧化鋅避雷器，是根據(jù)電壓高低要求，采用不同截面積、不同厚度和不同數(shù)量的氧化鋅片，裝在瓷套中，充入氮氣后密封。
如果測試結(jié)果有較大編差，可以考慮氦質(zhì)譜檢漏儀的自校功能，待完成后，再用標準漏孔進行測試。
③ 重復性
測量重復性是用實驗標準偏差表征的，本校準方法采用極差法來表征重復性。在示值誤差測量中，每一標準漏孔用氦質(zhì)譜檢漏儀重復測量三次，可用公式(2)計算氦質(zhì)譜檢漏儀在該漏率下的重復性。
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氦質(zhì)譜檢漏儀的原理
氦質(zhì)譜檢漏儀一般由質(zhì)譜管，真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質(zhì)譜管包括離子源，質(zhì)量分析器和離子檢測器; 真空系統(tǒng)一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束，以一定能量注入質(zhì)分析器，
目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質(zhì)分析器的作用起將各類離子按其質(zhì)荷比的不同實現(xiàn)分離。
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