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2021-06-18






氦質(zhì)譜檢漏儀的校準方法

(1) 漏率校準① 校準系統(tǒng)的組成

校準系統(tǒng)由標準漏孔、截止閥及需校準的氦質(zhì)譜檢漏儀組成。

②示值誤差

通電預熱,待氦質(zhì)譜檢漏儀啟動完成后,采用標準漏孔對氦質(zhì)譜檢漏儀進行校準,將一經(jīng)過校準的標準漏孔接入氦質(zhì)譜檢漏儀系統(tǒng),運行氦質(zhì)譜檢漏儀,待漏率示值穩(wěn)定后,可以讀出標準漏孔漏率的氦質(zhì)譜檢漏儀示值,同一標準漏孔測量三次,計算氦質(zhì)譜檢漏儀示值平均值,從而得到標準漏孔漏率與氦質(zhì)譜檢漏儀示值平均值的示值誤差。熱管檢漏客戶案例:某電子股份公司,是世界IT產(chǎn)業(yè)500強之一,分公司及營業(yè)處遍及美國、日本、歐洲、蘇格蘭、新加坡等地,全球員工近90000人。結(jié)束后,將其他量級的標準漏孔依次按此方法接入氦質(zhì)譜檢漏儀系統(tǒng)進行測試,得到氦質(zhì)譜檢漏儀在每一量級下漏率的示值誤差。

如果測試結(jié)果有較大編差,可以考慮氦質(zhì)譜檢漏儀的自校功能,待完成后,再用標準漏孔進行測試。

③ 重復性

測量重復性是用實驗標準偏差表征的,本校準方法采用極差法來表征重復性。在示值誤差測量中,每一標準漏孔用氦質(zhì)譜檢漏儀重復測量三次,可用公式(2)計算氦質(zhì)譜檢漏儀在該漏率下的重復性。

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氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式有那些

氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種,一種為常規(guī)檢漏,另一種為逆擴散檢漏。

逆擴散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端,漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進入安裝在泵的進氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測。當磁場的磁通密度一定時,不同質(zhì)荷比(m/e)的離子在磁場中都有相應的運輸半徑,也就是都有相應的圓軌跡,這樣,不同質(zhì)荷比的帶電粒子在磁場分析器中運動后就會彼此分開。這一檢漏方式是基于分子泵對不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比(氣體在分子泵出氣口壓強與進氣口壓強之比)即利用不同氣體的逆擴散程度不同程度而設計的。

氦質(zhì)譜檢漏儀逆擴散原理

逆擴散方式檢漏允許被檢件內(nèi)壓強較高,氦質(zhì)譜檢漏儀可達1000Pa(一般常規(guī)檢漏儀為0.05Pa以下),適合檢大型容器或有大漏的器件,也適合吸槍檢漏。逆擴散方式還具有質(zhì)譜管不易受污染,燈絲壽命長等優(yōu)點。

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氦質(zhì)譜檢漏用氦氣的選擇

氦氣是一種無色、無味的隋性氣體。光無源器件有光纖連接器、光開關、光衰減器、光纖耦合器、波分復用器、光調(diào)制器、光濾波器、光隔離器、光環(huán)行器等。相對分子質(zhì)量為4.003,分子直徑為2.18×10-10m,分子的質(zhì)量為3.65×10-27kg,在標準狀態(tài)下的密度為0.1769kg/m3,臨界溫度為5.25K,臨界壓力為2.26×105Pa,1atm壓力下的沸點為4.214K,熔點為0.9K,三相點溫度為2.186K,三相點壓力為51.1×10-2Pa,在標準狀態(tài)下的熱導率為510.79J/(m·h·K),在標準狀態(tài)下的定壓比熱為5233J/(kg·K),在標準狀態(tài)下的動力粘度系數(shù)為1.86×10-5Pa·s,1L液氦氣化為標準狀態(tài)下的氦氣體積為700L。

國家標準規(guī)定的瓶裝氦氣按純度高低分別為工業(yè)用氦、純氦、高純氦三種。

1、工業(yè)用氦:氦含量≥99%,露1點≤43℃.

2、純氦分三級:優(yōu)等品氦含量≥99.995%;一等品氦含量≥99.993%;合格品氦含量≥99.99%。

3、高純氦分為三級:優(yōu)等品氦含量≥99.9996%;一等品氦含量≥99.9993%;合格品氦含量≥99.999%。

氦氣在氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏中作為示蹤氣體使用,純度要求不高,一般選用工業(yè)用氦,即氦含量≥99%,露1點≤43℃。

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氦氣檢漏的主要技術性能

1.真空箱尺寸根據(jù)電芯尺寸確定;

2.一般為三箱聯(lián)動系統(tǒng),生產(chǎn)節(jié)拍可滿足單臺6PPM—12PPM;

3.開門方式,可根據(jù)用戶生產(chǎn)工藝要求來設計,一般為平開門式、滑臺合箱式;

4.上下料采用機械手或機器人,正常生產(chǎn)時設備無需人工操作;

5.系統(tǒng)配置二維碼掃描裝置,可將每個電芯的檢測數(shù)據(jù)對應存儲;

6.具有清氦功能

7.具有氦氣回收功能(此功能可選)

8.自動判斷,并對應放置(即不合格品放于不合格線,合格品放于合格線)

9.可通過觸摸屏設置不同等級密碼,更改設備參數(shù);

10.人機交互界面,觸摸屏實時反映運行狀態(tài)和測試數(shù)據(jù);

11.故障統(tǒng)計功能

12.系統(tǒng)采用配置和標準化設計制作,確保運行穩(wěn)定,性能可靠。

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